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半導(dǎo)體超純水方案應(yīng)用到哪些設(shè)備

文間來源：本站文章作者：超級(jí)管理員瀏覽量：58 發(fā)布時(shí)間：2025-09-10 15:34:53

信息摘要：

在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域

，超純水的質(zhì)量對芯片性能和生產(chǎn)良率起著決定性作用。為滿足半導(dǎo)體生產(chǎn)對水質(zhì)極高的要求

，超純水方案應(yīng)運(yùn)而生

，其中過濾器、樹脂

、濾膜

、EDI模塊、拋光樹脂等關(guān)鍵設(shè)備各司其職

，共同構(gòu)建起保障水質(zhì)的嚴(yán)密防線

。本文將為您詳細(xì)介紹半導(dǎo)體超純水方案應(yīng)用設(shè)備相關(guān)內(nèi)容。

在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域

，超純水的質(zhì)量對芯片性能和生產(chǎn)良率起著決定性作用

。為滿足半導(dǎo)體生產(chǎn)對水質(zhì)極高的要求

，超純水方案應(yīng)運(yùn)而生

，其中過濾器、樹脂

、濾膜

、EDI模塊、拋光樹脂等關(guān)鍵設(shè)備各司其職

，共同構(gòu)建起保障水質(zhì)的嚴(yán)密防線

。本文將為您詳細(xì)介紹半導(dǎo)體超純水方案應(yīng)用設(shè)備相關(guān)內(nèi)容。

半導(dǎo)體超純水方案應(yīng)用到的設(shè)備

過濾器：雜質(zhì)攔截的關(guān)卡

在半導(dǎo)體超純水方案中

，多介質(zhì)過濾器作為預(yù)處理的重要設(shè)備

，通常裝填石英砂、無煙煤等多種過濾介質(zhì)

，可有效去除原水中的懸浮物

、泥沙、鐵銹等大顆粒雜質(zhì)

，降低水的濁度

，為后續(xù)處理工序減輕負(fù)擔(dān)。例如

，在一些大型半導(dǎo)體制造工廠

，多介質(zhì)過濾器能夠?qū)⒃械臐岫葟膸资甆TU降低至1NTU以下，確保進(jìn)入后續(xù)系統(tǒng)的水質(zhì)初步達(dá)標(biāo)

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；钚蕴窟^濾器則利用活性炭的吸附特性，吸附水中的余氯

、有機(jī)物

、部分重金屬離子等。余氯若進(jìn)入后續(xù)反滲透系統(tǒng)

，會(huì)氧化破壞反滲透膜

，而活性炭過濾器能將余氯含量降低至近乎零

，同時(shí)去除水中的異味和部分色度，使水質(zhì)得到進(jìn)一步凈化

。

樹脂與濾膜：離子和微粒的精準(zhǔn)去除

離子交換樹脂在超純水制備中扮演著核心角色

。陽離子交換樹脂可去除水中的鈣、鎂

、鈉等陽離子

，陰離子交換樹脂則用于去除氯離子、硫酸根離子

、碳酸根離子等陰離子

。通過陰陽離子交換樹脂的協(xié)同作用，能夠有效降低水的電導(dǎo)率

，提升水的純度

。在一些先進(jìn)的半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中，要求超純水的電導(dǎo)率達(dá)到18MΩ?cm以上

，離子交換樹脂的合理運(yùn)用是實(shí)現(xiàn)這一目標(biāo)的關(guān)鍵

。濾膜方面，超濾膜能夠過濾掉水中的膠體

、細(xì)菌

、大分子有機(jī)物等，其過濾精度通常在0.001-0.1μm之間

。在半導(dǎo)體超純水制備流程中

，超濾膜可作為反滲透的前置保障，防止反滲透膜被大顆粒雜質(zhì)堵塞

，延長反滲透膜的使用壽命

。而反滲透膜的過濾精度更高，能截留水中的溶解性鹽類

、小分子有機(jī)物

、微生物等幾乎所有雜質(zhì)，脫鹽率可達(dá)99%以上

，產(chǎn)出水質(zhì)大幅提升

，滿足半導(dǎo)體生產(chǎn)對水質(zhì)的嚴(yán)格要求。

EDI模塊與拋光樹脂：極致純水的締造者

EDI（電去離子）模塊是超純水制備的關(guān)鍵設(shè)備

，它巧妙地將電滲析技術(shù)和離子交換技術(shù)相結(jié)合

。在直流電場的作用下，水中的離子通過離子交換膜遷移

，同時(shí)

，離子交換樹脂對水中的離子進(jìn)行吸附和釋放，實(shí)現(xiàn)連續(xù)去除水中離子的目的

。與傳統(tǒng)離子交換技術(shù)相比

，EDI模塊無需酸堿再生

，避免了酸堿廢液對環(huán)境的污染，且能持續(xù)穩(wěn)定地生產(chǎn)高純度的水

，為半導(dǎo)體制造提供優(yōu)質(zhì)水源

。拋光樹脂作為超純水制備的最后一道工序，用于進(jìn)一步去除水中殘留的微量離子和有機(jī)物

，使水質(zhì)達(dá)到近乎極致的純凈

。在半導(dǎo)體芯片制造過程中，如光刻

、蝕刻等關(guān)鍵工藝

，對水質(zhì)要求極高，哪怕是極微量的雜質(zhì)都可能影響芯片的性能和良品率

。拋光樹脂能夠?qū)⑺械碾娮杪士煞€(wěn)定在18MΩ?cm

，TOC（總有機(jī)碳）降低至極低水平，同時(shí)進(jìn)一步提升水的電阻率

，確保超純水滿足半導(dǎo)體高端制造工藝的需求

。

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半導(dǎo)體超純水方案中的過濾器

、樹脂、濾膜

、EDI模塊

、拋光樹脂等設(shè)備緊密配合，從不同角度對水進(jìn)行深度凈化

，為半導(dǎo)體制造提供了不可或缺的超純水源

，支撐著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)向更高精度、更高性能的方向不斷邁進(jìn)

。如果您還想了解半導(dǎo)體超純水方案應(yīng)用到的設(shè)備相關(guān)內(nèi)容

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半導(dǎo)體超純水方案應(yīng)用到哪些設(shè)備

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